技術參數:
離子源
離子槍:兩個具有低能聚焦特性的潘寧離子槍
減薄角度:+10° 到 -10°, 每個離子槍均可獨立調節
離子束能量:100 V 到 8.0 kV
離子束流密度:10m A/cm2 峰值
離子束對中:利用熒光屏精確對中
離子束直徑:可由氣流控製器或放電電壓來調節
樣品台
樣品大小:3 mm 或 2.3 mm
樣品旋轉:1 到 6 rpm 連續可調
束流調製:扇形範圍可調的單束調製或雙束調製
X, Y 平移:在 X 和 Y 方向上各 +/- 0.5 mm
真空係統
幹泵係統:兩級隔膜泵支持 80 升/秒的渦輪分子泵
壓力:5×10-6 托基本壓力,8×10-5 托工作壓力
真空規:冷陰極型,用於主樣品室:固體型,用於前級機械泵
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